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  【中國儀表網(wǎng) 儀表研發(fā)】MEMS傳感器是利用集成電路技術(shù)工藝和微機(jī)械加工方法將基于各種物理效應(yīng)的機(jī)電敏感元器件和處理電路集成在一個(gè)芯片上的傳感器。具有體積小、質(zhì)量輕、功耗低、靈敏度高、可靠性高、易于集成以及耐惡劣工作環(huán)境等優(yōu)勢,從而促進(jìn)了傳感器向微型化、智能化、多功能化和網(wǎng)絡(luò)化的方向發(fā)展

2018-09-12 11:55:54 · 中國儀表網(wǎng) 閱讀:437
  【中國儀表網(wǎng) 儀表研發(fā)】MEMS傳感器是利用集成電路技術(shù)工藝和微機(jī)械加工方法將基于各種物理效應(yīng)的機(jī)電敏感元器件和處理電路集成在一個(gè)芯片上的傳感器。具有體積小、質(zhì)量輕、功耗低、靈敏度高、可靠性高、易于集成以及耐惡劣工作環(huán)境等優(yōu)勢,從而促進(jìn)了傳感器向微型化、智能化、多功能化和網(wǎng)絡(luò)化的方向發(fā)展
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