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近日,HORIBA公司宣布推出新的模塊化橢偏儀――Uvisel Plus,旨在提高薄膜測(cè)量的靈活性。該設(shè)備配備了尖端的FastAcq采集技術(shù),利用新的電子數(shù)據(jù)處理和高速單色儀,可以在三分鐘內(nèi)完成190到2100nm范圍內(nèi)的樣品高分辨率測(cè)量

2017-07-19 09:41:00 · 風(fēng)電網(wǎng) 閱讀:1030
近日,HORIBA公司宣布推出新的模塊化橢偏儀――Uvisel Plus,旨在提高薄膜測(cè)量的靈活性。該設(shè)備配備了尖端的FastAcq采集技術(shù),利用新的電子數(shù)據(jù)處理和高速單色儀,可以在三分鐘內(nèi)完成190到2100nm范圍內(nèi)的樣品高分辨率測(cè)量

近日,HORIBA公司宣布推出新的模塊化橢偏儀――Uvisel Plus,旨在提高薄膜測(cè)量的靈活性。

該設(shè)備配備了尖端的FastAcq采集技術(shù),利用新的電子數(shù)據(jù)處理和高速單色儀,可以在三分鐘內(nèi)完成190到2100nm范圍內(nèi)的樣品高分辨率測(cè)量。

該設(shè)計(jì)的另一個(gè)關(guān)鍵因素是其在光路中不包含旋轉(zhuǎn)元件或附加組件,為精確的橢偏參數(shù)測(cè)量提供最純凈和高效的偏振調(diào)制。

Uvisel Plus為圖案樣本的微孔提供低至50μm,可變角度從40°到90°的自動(dòng)水平繪圖階段和附件,以滿足各種應(yīng)用和預(yù)算需求。

該公司表示:“Uvisel Plus及FastAcq技術(shù)是材料研究和加工、平板顯示器、微電子和光伏領(lǐng)域薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)測(cè)量中最多功能的光譜橢偏儀?!?/p>

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